| JTDQVS-4030CNC | |
| X eksen hareketi | 400 mm |
| Y eksen hareketi | 300 mm |
| Z eksen hareketi | 200 mm |
| X/Y eksen hassasiyeti | ≤3+L/200 (µm) |
| Z eksen hassasiyeti | ≤4+L/200 (µm) |
| Tekrarlama hassasiyeti | ±2µm |
| CCD | TEO™ HK VISION |
| Fotoelektrik sensör | JAPON OMRON EE-SX |
| Servo motor | Panasonic |
| Sabit tabla ( Gantry ) | |